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單晶硅除塵系統(tǒng)與普通除塵系統(tǒng)的區(qū)別

利菲爾特點擊: 2025-01-08

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  1. 原理差異

    • 普通除塵系統(tǒng):有機械(如重力沉降室、慣性與旋風除塵器)、濕式(如噴淋塔、文丘里除塵器)、過濾式(如布袋除塵器)等方式。像重力沉降室借顆粒重力沉降分離;慣性除塵器靠顆粒慣性在氣流轉(zhuǎn)向時分離 ;濕式除塵利用水吸附粉塵;過濾式除塵讓氣體通過濾材截留粉塵。

    • 單晶硅除塵系統(tǒng):除傳統(tǒng)高效過濾,還配合特殊凈化措施。如拉晶時先靜電除塵使硅粉帶電收集,再經(jīng) HEPA 過濾,對 0.3 微米以上顆粒過濾效率達 99.97% 以上,確保滿足生產(chǎn)的高潔凈需求。

  2. 過濾材料與精度不同

    • 普通除塵系統(tǒng):布袋除塵器常用聚酯纖維、聚丙烯纖維等濾材,過濾精度 1 - 10 微米,能滿足一般工業(yè)與環(huán)境治理要求,如水泥廠用聚酯纖維布袋除塵。

    • 單晶硅除塵系統(tǒng):采用高精度濾材,如 HEPA、ULPA,ULPA 對 0.1 - 0.2 微米顆粒過濾效率達 99.999% 以上,可過濾切片產(chǎn)生的亞微米級硅屑顆粒。

  3. 系統(tǒng)密封性與潔凈度維護有別

    • 普通除塵系統(tǒng):密封性要求低,少量空氣混入或微小泄漏不影響除塵效果。維護清潔周期長,如機械加工廠的旋風除塵器,隔幾天或幾周清理粉塵即可。

    • 單晶硅除塵系統(tǒng):密封性要求極高,與潔凈室形成密封整體,防止外界雜質(zhì)進入。需持續(xù)監(jiān)測潔凈度,實時監(jiān)控過濾效率、壓力差等參數(shù),定期更換或清潔濾材,維持生產(chǎn)環(huán)境潔凈等級。

  4. 應(yīng)用場景不同

    • 普通除塵系統(tǒng):用于各類工業(yè)領(lǐng)域和一般環(huán)境除塵,如建筑施工場地揚塵控制、冶金行業(yè)廢氣除塵。

    • 單晶硅除塵系統(tǒng):專門服務(wù)單晶硅生產(chǎn),從拉晶到切片、磨片等環(huán)節(jié),保障生產(chǎn)環(huán)境潔凈,確保產(chǎn)品純度和質(zhì)量 。


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